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目次
56(8):2013.8
- オゾンを用いた表面処理方法 (小特集 表面処理技術)
p.307-314
- レーザ表面処理の研究動向 (小特集 表面処理技術)
p.315-321
56(2):2013.2
56(12):2013.12
- 真空中の沿面放電と帯電について (小特集 真空中の放電現象)
p.485-492
- 宇宙機における放電現象 (小特集 真空中の放電現象)
p.493-501
56(5):2013.5
56(4):2013.4
56(10):2013.10
- MEMSデバイスの動向と真空技術の役割
p.403-408
- MEMS開発における解析支援技術
p.409-416
- RFマグネトロンスパッタリング法によるBaTiO₃薄膜の低温堆積と評価
p.417-421
- 合成樹脂を用いた材料の気体放出速度測定
p.422-424
56(3):2013.3
- 第52回真空夏季大学開催報告
p.104-106
56(9):2013.9
56(6):2013.6
- 気体分子運動論の基礎 (小特集 真空基礎講座)
p.199-203
- 真空と表面 (小特集 真空基礎講座)
p.204-209
- 排気と真空ポンプ (小特集 真空基礎講座)
p.210-219
- 種々の真空計とそれぞれの計測原理 (小特集 真空基礎講座)
p.220-226
- マイクロコイル真空計 (小特集 真空排気・計測関連製品紹介)
p.227-229
56(11):2013.11
- 平成25年度日本真空学会賞の審査経過と受賞業績紹介
p.435-439
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 1882-2398
- ISSN-L
- 1882-2398
- タイトルよみ
- Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻次・部編番号
- 56(1)-56(12):2013.1-2013.12
- 出版事項
- 出版事項(最新)
- 出版年月日等
- 2013