単一の表面吸着サイトを持つ真空容器内のガスダイナミクス : キロ秒オーダーの指数関数的排気曲線の正体
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 杉本 敏樹武安 光太郎福谷 克之
- 並列タイトル等
- Gas Dynamics in the Vacuum Chamber with a Single Adsorption Site on the Wall Surface : Origin of the Exponential Pressure Decay with the Time Constant of Sub-Kilo Seconds
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 56(8):2013.8
- 掲載巻
- 56
- 掲載号
- 8
- 掲載ページ
- 322-329