ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ曝露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング(小特集第53回真空に関する連合講演会論文集(1))

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資料種別: 記事
タイトル: ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ曝露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング
著者・編者: 吉村智
幾世和将
杉本敏司他
シリーズタイトル: 小特集第53回真空に関する連合講演会論文集(1)
著者標目: 吉村智
幾世和将
杉本敏司
並列タイトル等: Hydrogen Plasma Exposure of Polymethylmethacrylate and Etching by Low Energy Ar⁺ Ion Beam
タイトル（掲載誌）: Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
巻号年月日等（掲載誌）: 56(4):2013.4
掲載巻: 56
掲載号: 4
掲載ページ: 129-132
掲載年月日（W3CDTF）: 2013-04
ISSN（掲載誌）: 1882-2398
ISSN-L（掲載誌）: 1882-2398
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本真空協会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN15
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-474
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 024633811
http://id.ndl.go.jp/bib/024633811
整理区分コード: 632