収差補正走査透過型電子顕微鏡を用いたサブナノオーダー分析の現状(小特集 表層あるいは深さ方向分析の進展)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 収差補正走査透過型電子顕微鏡を用いたサブナノオーダー分析の現状
• 著者・編者: 川崎 直彦
• シリーズタイトル: 小特集 表層あるいは深さ方向分析の進展
• 著者標目: 川崎 直彦
• 並列タイトル等: Present Stage of Sub-nanometer Analysis by Aberration-corrected Scanning Transmission Electron Microscopy
• タイトル（掲載誌）: Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
• 巻号年月日等（掲載誌）: 56(9):2013.9
• 掲載巻: 56
• 掲載号: 9
• 掲載ページ: 360-364
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2013-09
• ISSN（掲載誌）: 1882-2398
• ISSN-L（掲載誌）: 1882-2398
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本真空協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN15
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-474
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024879141; http://id.ndl.go.jp/bib/024879141
• 整理区分コード: 632