サファイア基板のメカニカルポリシングに及ぼす定盤表面性状の影響 : 定盤表面性状とスラリーフロー並びに研磨レートの関係
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 畝田 道雄福田 有哉伊藤 康昭 他
- 並列タイトル等
- Effects of platen surface texture in sapphire-mechanical polishing : Relationship between platen surface texture, slurry flow, and removal rate
- タイトル（掲載誌）
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 58(5)=381:2014.5
- 掲載巻
- 58
- 掲載号
- 5
- 掲載通号
- 381