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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 本多 進
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 21(別刷):2011.9.8
- 掲載巻
- 21
- 掲載通号
- 別刷
- 掲載ページ
- 87-110