TFT配線における磁気結合方式に基づく短絡欠陥位置特定手法
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 羽森 寛坂和 正敏片桐 英樹 他
- 並列タイトル等
- A Short Defect Position Identification Method through Magnetic Coupling for TFT Pattern
- タイトル（掲載誌）
- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 21:2011.9.8・9
- 掲載巻
- 21
- 掲載ページ
- 73-76
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2011-09