全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 赤江 尚徳寺崎 昌人尾崎 貴志 他
- 並列タイトル等
- Development of high quality dielectric film stacking technology for 3-dimensional semiconductor devices
- タイトル（掲載誌）
- 日立国際電気技報 / 企画部研究管理課 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (15):2014年度版
- 掲載号
- 15
- 掲載ページ
- 9-12
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2014