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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 相澤 龍彦杉田 良雄
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- High Density Oxygen Plasma Ashing for Recycling and Reuse of DLC-Coated Tools and Dies
- タイトル(掲載誌)
- 芝浦工業大学研究報告 The research reports of Shibaura Institute of Technology / 芝浦工業大学 編
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 2014
- 掲載ページ
- 17-26
- 掲載年月日(W3CDTF)
- 2014