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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 嘉田 守宏
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Prospect for Development on 3D-Integration Technology and R&D result of Functionally Innovative 3D-Integrated Circuit (Dream Chip) Technology in FY2010
- タイトル(掲載誌)
- 半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 75:2011.7.7・8
- 掲載巻
- 75
- 掲載ページ
- 19-22
- 掲載年月日(W3CDTF)
- 2011-07