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雑誌兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集
巻号2009年度-2010年度
記事Low Damage...

Low Damage Depth Profiling and Removal of damaged Layer of Polymer Materials with Ar Gas Cluster Ion Beam

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Low Damage Depth Profiling and Removal of damaged Layer of Polymer Materials with Ar Gas Cluster Ion Beam

国立国会図書館請求記号
Z74-E130
国立国会図書館書誌ID
026978200
資料種別
記事
著者
Takuya Miyayamaほか
出版者
姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室
出版年
2010
資料形態
紙
掲載誌名
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 2010年度
掲載ページ
p.220-225
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紙

資料種別
記事
タイトル
Low Damage Depth Profiling and Removal of damaged Layer of Polymer Materials with Ar Gas Cluster Ion Beam
著者・編者
Takuya Miyayama
Noriaki Sanada
Mineharu Suzuki 他
著者標目
Takuya Miyayama
Noriaki Sanada
Mineharu Suzuki
タイトル（掲載誌）
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo
巻号年月日等（掲載誌）
2010年度
掲載ページ
220-225
掲載年月日（W3CDTF）
2010
出版事項（掲載誌）
姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室
出版地（国名コード）
JP