基板近傍からCH₄/H₂ガスを導入したAr誘導熱プラズマによる単結晶ダイヤモンド膜成長試験

• 資料種別: 記事
• タイトル: 基板近傍からCH₄/H₂ガスを導入したAr誘導熱プラズマによる単結晶ダイヤモンド膜成長試験
• 著者・編者: 別院 利城; 福澤 未夢; 田中 康規; 上杉 喜彦; 石島 達夫; 川浦 廣
• シリーズタイトル: プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
• 著者標目: 別院 利城; 福澤 未夢; 田中 康規; 上杉 喜彦; 石島 達夫; 川浦 廣
• 並列タイトル等: Trial Application of Ar Inductively Coupled Thermal Plasma with CH₄/H₂ Gas Injection near the Substrate to Monocrystalline Diamond Growth
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2016(18-37):2016.5.27
• 掲載巻: 2016
• 掲載号: 18-37
• 掲載ページ: 21-26
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2016-05-27
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 誘導熱プラズマ; 単結晶ダイヤモンド; 熱解離; 化学気相蒸着法; Inductively coupled thermal plasma; Monocrystalline diamond; Thermal dissociation; Chemical vapor deposition
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: PPT-16-22
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-C90
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027538020; http://id.ndl.go.jp/bib/027538020
• 整理区分コード: 632