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雑誌電気学会研究会資料 PPT
Volume number2016(1)-2017(77):2016.5.26-2017.10.27 (欠番多し)
Article基板近傍からCH₄/...

基板近傍からCH₄/H₂ガスを導入したAr誘導熱プラズマによる単結晶ダイヤモンド膜成長試験 (プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般)

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基板近傍からCH₄/H₂ガスを導入したAr誘導熱プラズマによる単結晶ダイヤモンド膜成長試験

(プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般)

Call No. (NDL)
Z74-C90
Bibliographic ID of National Diet Library
027538020
Material type
記事
Author
別院 利城ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2016-05-27
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編] 2016(18-37):2016.5.27
Publication Page
p.21-26
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Paper

Material Type
記事
Title
基板近傍からCH₄/H₂ガスを導入したAr誘導熱プラズマによる単結晶ダイヤモンド膜成長試験
Author/Editor
別院 利城
福澤 未夢
田中 康規
上杉 喜彦
石島 達夫
川浦 廣
Series Title
プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
Author Heading
別院 利城
福澤 未夢
田中 康規
上杉 喜彦
石島 達夫
川浦 廣
Alternative Title
Trial Application of Ar Inductively Coupled Thermal Plasma with CH₄/H₂ Gas Injection near the Substrate to Monocrystalline Diamond Growth
Periodical title
電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編]
No. or year of volume/issue
2016(18-37):2016.5.27
Volume
2016
Issue
18-37