Microstructure Formation on Polytetrafluoroethylene (PTFE) and Perfluoroalkoxy (PFA) Bulk Plates by a Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching System

• 資料種別: 記事
• タイトル: Microstructure Formation on Polytetrafluoroethylene (PTFE) and Perfluoroalkoxy (PFA) Bulk Plates by a Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching System
• 著者・編者: Hirofumi NABESAWA; Takeshi HITOBO; Toyohisa ASAJI; Takashi ABE; Minoru SEKI
• 著者標目: Hirofumi NABESAWA; Takeshi HITOBO; Toyohisa ASAJI; Takashi ABE; Minoru SEKI
• タイトル（掲載誌）: Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
• 巻号年月日等（掲載誌）: 60(5):2017.5
• 掲載巻: 60
• 掲載号: 5
• 掲載ページ: 176-181
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017-05
• ISSN（掲載誌）: 1882-2398
• ISSN-L（掲載誌）: 1882-2398
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本真空協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: ZN15
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-474
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028222360; http://id.ndl.go.jp/bib/028222360
• 整理区分コード: 632