原子層堆積装置およびエッチング装置を組み合わせた極微細パターンニング形成 (特集 薄膜成長の最前線)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 勝沼 隆幸久松 亨木原 嘉英本田 昌伸
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- New Patterning Technology by Integrating Atomic Layer Deposition Process to the Etching Flow
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 38(5):2017.5
- 掲載巻
- 38
- 掲載号
- 5