MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化(特集磁気センサ・アクチュエータ材料とその応用)

掲載誌名: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 137(8):2017.8

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資料種別: 記事
タイトル: MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化
著者・編者: 和田祐樹
延永尚記
熊谷慎也
石原裕己
石居真
佐々木実
シリーズタイトル: 特集磁気センサ・アクチュエータ材料とその応用
著者標目: 和田祐樹
延永尚記
熊谷慎也
石原裕己
石居真
佐々木実
並列タイトル等: MEMS Resonator Based Insulated Voltage Sensor Withstanding Higher Voltage
タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等（掲載誌）: 137(8):2017.8
掲載巻: 137
掲載号: 8
掲載ページ: 239-244
掲載年月日（W3CDTF）: 2017-08
ISSN（掲載誌）: 1341-8939
ISSN-L（掲載誌）: 1341-8939
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: MEMS振動子
共振周波数
絶縁
電圧センサ
MEMS resonator
Resonant frequency
Isolation
Voltage sensor
NDLC: ZN31
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-B380
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 028463808
http://id.ndl.go.jp/bib/028463808
整理区分コード: 632