反応性大電力パルススパッタリング(R-HiPIMS)における遷移領域制御技術(小特集高電力パルススパッタ(HiPIMS))

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資料種別: 記事
タイトル: 反応性大電力パルススパッタリング(R-HiPIMS)における遷移領域制御技術
著者・編者: 清水徹英
ミシェルビラマヨア
ジュリアンケラウディ
ダニエルルンディン
ウルフヘルマーソン
シリーズタイトル: 小特集高電力パルススパッタ(HiPIMS)
著者標目: 清水徹英
ミシェルビラマヨア
ジュリアンケラウディ
ダニエルルンディン
ウルフヘルマーソン
並列タイトル等: Transition Mode Control in Reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering (R-HiPIMS)
タイトル（掲載誌）: Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
巻号年月日等（掲載誌）: 60(9):2017.9
掲載巻: 60
掲載号: 9
掲載ページ: 346-351
掲載年月日（W3CDTF）: 2017-09
ISSN（掲載誌）: 1882-2398
ISSN-L（掲載誌）: 1882-2398
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本真空協会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN15
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-474
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 028531349
http://id.ndl.go.jp/bib/028531349
整理区分コード: 632