Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: Journal of the Vacuum Society of Japan
• タイトルよみ: Journal of the Vacuum Society of Japan
• 巻次・部編番号: 60巻9号 2017年9月
• 著者標目: 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )典拠; 日本真空学会 ニホン シンクウ ガッカイ ( 001181284 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本真空協会
• 出版事項（最新）: 東京 : 日本真空学会
• 出版年月日等: 2017
• 出版年（W3CDTF）: 2017
• 出版表示等に関する注記: 出版者変遷: 日本真空学会 (55巻3号-60巻12号)
• 刊行巻次・年月次: 51巻1号 (2008年1月)-60巻12号 (2017年12月)
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: 真空 シンクウ
• その他のタイトル（略タイトル）: J. Vac. Soc. Jpn.
• その他のタイトル（キー・タイトル）: Journal of the Vacuum Society of Japan
• ISSN（掲載誌）: 1882-2398
• ISSN-L（掲載誌）: 1882-2398
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 著者別名: Vacuum Society of Japan
• NDLC: ZN15
• 総目次・総索引注記: 総目次あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-474
• 改題前: 継続前 : 真空 (ISSN:0559-8516); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000011964
• 改題後: 合併後 : 表面と真空 / 日本表面科学会, 日本真空学会 編 (ISSN:2433-5835); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I028592749
• 改題後（ISSN）: 合併後 : 0388-5321; http://iss.ndl.go.jp/issn/0388-5321; 合併後 : 2433-5835; http://iss.ndl.go.jp/issn/2433-5835
• 別の記録形式（ISSN）: 他媒体版 : 1882-4749; http://iss.ndl.go.jp/issn/1882-4749
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008601226; http://id.ndl.go.jp/bib/000008601226
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版

目次

大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた炭素系薄膜の特性 (小特集 高電力パルススパッタ(HiPIMS))

反応性大電力パルススパッタリング(R-HiPIMS)における遷移領域制御技術 (小特集 高電力パルススパッタ(HiPIMS))

大電力パルスマグネトロンスパッタを用いたナノクラスター超原子の生成技術 (小特集 高電力パルススパッタ(HiPIMS))

生産規模でのプラズマイオン成膜プロセスの比較 (小特集 高電力パルススパッタ(HiPIMS))

ミニマルファブのための小型HiPIMS型スパッタ成膜装置の開発 (小特集 高電力パルススパッタ(HiPIMS))