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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 縄稚 典生伊藤 幸一井鷺 洋介吉田 善明岡本 圭司中谷 達行
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Characterization of Carbon Thin Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering
- タイトル(掲載誌)
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 60(9):2017.9
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 9