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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小木曽 久人行村 建中野 禅田中 宏幸クンプアン ソマワン薮田 勇気亀井 龍一郎原 史朗
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Development of Miniature Sputtering Deposition Equipment for Minimal Fab with HiPIMS Operations
- タイトル(掲載誌)
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 60(9):2017.9
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 9