ループ型Ar/N₂/H₂誘導熱プラズマを用いたTi基板表面の高速窒化試験

• 資料種別: 記事
• タイトル: ループ型Ar/N₂/H₂誘導熱プラズマを用いたTi基板表面の高速窒化試験
• 著者・編者: 藤田 敦士; 土谷 拓光; 田中 康規; 上杉 喜彦; 石島 達夫; 幸本 徹哉; 川浦 廣
• シリーズタイトル: プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 環境浄化技術
• 著者標目: 藤田 敦士; 土谷 拓光; 田中 康規; 上杉 喜彦; 石島 達夫; 幸本 徹哉; 川浦 廣
• 並列タイトル等: Rapid Nitridation of Ti Surface using Ar/N₂/H₂ Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan / 放電研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2017(96-110):2017.10.26
• 掲載巻: 2017
• 掲載号: 96-110
• 掲載ページ: 23-28
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017-10-26
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 誘導熱プラズマ; ループ型; 高速窒化; Ti; XRD; Inductively Coupled Thermal Plasma; Loop Type; Rapid Nitridation; Titanium; X-Ray Diffraction
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: ED-17-100
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z43-224
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028648886; http://id.ndl.go.jp/bib/028648886
• 整理区分コード: 632