ループ型Ar/N₂/H₂誘導熱プラズマを用いたTi基板表面の高速窒化試験

• Material Type: 記事
• Title: ループ型Ar/N₂/H₂誘導熱プラズマを用いたTi基板表面の高速窒化試験
• Author/Editor: 藤田 敦士; 土谷 拓光; 田中 康規; 上杉 喜彦; 石島 達夫; 幸本 徹哉; 川浦 廣
• Series Title: プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 環境浄化技術
• Author Heading: 藤田 敦士; 土谷 拓光; 田中 康規; 上杉 喜彦; 石島 達夫; 幸本 徹哉; 川浦 廣
• Alternative Title: Rapid Nitridation of Ti Surface using Ar/N₂/H₂ Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas
• Periodical title: 電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan / 放電研究会 [編]
• No. or year of volume/issue: 2017(96-110):2017.10.26
• Volume: 2017
• Issue: 96-110
• Pages: 23-28
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2017-10-26
• Publication (Periodical Title): 東京 : 電気学会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 誘導熱プラズマ; ループ型; 高速窒化; Ti; XRD; Inductively Coupled Thermal Plasma; Loop Type; Rapid Nitridation; Titanium; X-Ray Diffraction
• NDLC: ZN31
• Target Audience: 一般
• Report No. (Article): ED-17-100
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z43-224
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 028648886; http://id.ndl.go.jp/bib/028648886
• Bibliographic Record Category (NDL): 632