THz波用MEMS駆動ワイヤグリッド偏光子の製作と光学特性評価 (特集 メタマテリアル・プラズモニクス)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 石井 雄大中田 陽介時実 悠瀧田 佑馬金森 義明南出 泰亜羽根 一博
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Fabrication of MEMS-driven Wire Grid Polarizers in THz Region and Evaluation of the Optical Characteristics
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 137(11):2017.11
- 掲載巻
- 137
- 掲載号
- 11