極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 村上 洋甲木 昭雄佐島 隆生吉田 一朗浜野 康雄本田 裕内山 晃介
- 並列タイトル等
- Development of a System for 3-D Micro Metrology Using an Ultra-Small Diameter Optical Fiber Probe
- タイトル（掲載誌）
- 光計測シンポジウム論文集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2017
- 掲載ページ
- 27-30
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2017
- 出版事項（掲載誌）
- 東京 : 日本光学測定機工業会