X線を用いた熱化学異方性エッチングによるPTFEの微細加工プロセスの検討

• 資料種別: 記事
• タイトル: X線を用いた熱化学異方性エッチングによるPTFEの微細加工プロセスの検討
• 著者・編者: 山口 明啓; 木戸 秀樹; 竹内 雅耶; 内海 裕一
• 著者標目: 山口 明啓; 木戸 秀樹; 竹内 雅耶; 内海 裕一
• 並列タイトル等: Study on Microfabrication of Polytetrafluoethylene using X-ray-induced Pyrochemical Anisotropic Etching
• タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
• 巻号年月日等（掲載誌）: 137(12):2017.12
• 掲載巻: 137
• 掲載号: 12
• 掲載ページ: 417-421
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017-12
• ISSN（掲載誌）: 1341-8939
• ISSN-L（掲載誌）: 1341-8939
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 放射光; ポリテトラフルオロエチレン (PTFE); マイクロ化学チップ; X線加工; フーリエ変換赤外分光; 熱化学異方性エッチング; Synchrotron Radiation; Polytetrafluoethylene (PTFE); microfluidic chip; X-ray irradiation etching; FT-IR spectroscopy; Pyrochemical anisotropic etching
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-B380
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028724494; http://id.ndl.go.jp/bib/028724494
• 整理区分コード: 632