X線を用いた熱化学異方性エッチングによるPTFEの微細加工プロセスの検討

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X線を用いた熱化学異方性エッチングによるPTFEの微細加工プロセスの検討

国立国会図書館請求記号
Z16-B380
国立国会図書館書誌ID
028724494
資料種別
記事
著者
山口 明啓ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2017-12
資料形態
掲載誌名
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 137(12):2017.12
掲載ページ
p.417-421
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
山口 明啓
木戸 秀樹
竹内 雅耶
内海 裕一
並列タイトル等
Study on Microfabrication of Polytetrafluoethylene using X-ray-induced Pyrochemical Anisotropic Etching
タイトル(掲載誌)
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等(掲載誌)
137(12):2017.12
掲載巻
137
掲載号
12
掲載ページ
417-421