低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合における薄膜Sn層の役割
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 佐藤 史朗福士 秀幸江刺 正喜田中 秀治
- 並列タイトル等
- Role of Thin Sn Layer for Low Temperature Al-Al Thermo-compression Bonding of Wafer-level Hermetic Sealing
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 137(12):2017.12
- 掲載巻
- 137
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- 432-437