シリコン単結晶のトラ...

シリコン単結晶のトライボロジーと微構造変化 (平成29年度研究成果概要)

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シリコン単結晶のトライボロジーと微構造変化

(平成29年度研究成果概要)

国立国会図書館請求記号
Z74-B826
国立国会図書館書誌ID
029311990
資料種別
記事
著者
高木 誠ほか
出版者
豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所
出版年
2018-09
資料形態
掲載誌名
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (20):2018.9
掲載ページ
p.106-108
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
高木 誠
岩田 博之
坂 公恭
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
(20):2018.9
掲載号
20
掲載ページ
106-108
掲載年月日(W3CDTF)
2018-09