炭酸アルキレンによるフォトレジストの剥離機構 : 水とプルロニック系界面活性剤の添加効果
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 半澤 将希大日向 秀収川野 伸一赤松 允顕酒井 健一酒井 秀樹
- 並列タイトル等
- Removal Mechanism of Photoresist in Alkylene Carbonates with Water and Pluronic Surfactant
- タイトル(掲載誌)
- 色材協会誌 = Journal of the Japan Society of Colour Material
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 92(6):2019.6
- 掲載巻
- 92
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- 181-185