単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速高精度加工法の開発 : 紫外線援用テープ研削法の提案

• 資料種別: 記事
• タイトル: 単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速高精度加工法の開発 : 紫外線援用テープ研削法の提案
• 著者・編者: 鷹巣 良史; 嶋田 慶太; 水谷 正義; 厨川 常元
• 著者標目: 鷹巣 良史; 嶋田 慶太; 水谷 正義; 厨川 常元
• 並列タイトル等: Development of high-speed and high-accurate manufacturing of gallium nitride : Suggestion of UV assist tape grinding method
• タイトル（掲載誌）: Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
• 巻号年月日等（掲載誌）: 63(11)=447:2019.11
• 掲載巻: 63
• 掲載号: 11
• 掲載通号: 447
• 掲載ページ: 569-574
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2019-11
• ISSN（掲載誌）: 0914-2703
• ISSN-L（掲載誌）: 0914-2703
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 砥粒加工学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: gallium nitride; grinding with abrasive tape; ultraviolet; hydroxyl radical
• NDLC: ZN11
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-1147
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 030080368; http://id.ndl.go.jp/bib/030080368
• 整理区分コード: 632