雑誌表面と真空
巻号62巻11号 2019年11月
記事AI・IoT時代に向...

AI・IoT時代に向けた三次元集積実装技術の研究開発 (特集 三次元積層集積デバイスによる半導体集積回路技術の進展と展望)

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AI・IoT時代に向けた三次元集積実装技術の研究開発(特集 三次元積層集積デバイスによる半導体集積回路技術の進展と展望)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
030112624
資料種別
記事
著者
菊地 克弥
出版者
東京 : 日本表面科学会 ; 2018-
出版年
2019-11
資料形態
紙
掲載誌名
表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編 62(11):2019.11
掲載ページ
p.666-671
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紙 デジタル

資料種別
記事
タイトル
AI・IoT時代に向けた三次元集積実装技術の研究開発
著者・編者
菊地 克弥
シリーズタイトル
特集 三次元積層集積デバイスによる半導体集積回路技術の進展と展望
著者標目
菊地 克弥
並列タイトル等
R&D of 3D-IC Technology for the AI・IoT Era
タイトル（掲載誌）
表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編
巻号年月日等（掲載誌）
62(11):2019.11
掲載巻
62
掲載号
11