雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
巻号119(385):2020.1.23・24
記事c面サファイアおよび...

c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長 (電子ディスプレイ)

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c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長

(電子ディスプレイ)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
030249586
資料種別
記事
著者
名嘉眞 朝泰ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2020-01
資料形態
紙
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(385):2020.1.23・24
掲載ページ
p.1-4
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紙

資料種別
記事
タイトル
c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長
著者・編者
名嘉眞 朝泰
松下 一貴
渡邊 泰良
小南 裕子
原 和彦
シリーズタイトル
電子ディスプレイ
著者標目
名嘉眞 朝泰
松下 一貴
渡邊 泰良
小南 裕子
原 和彦
並列タイトル等
CVD growth of h-BN thin films on c-plane sapphire and Si(111) substrates
タイトル（掲載誌）
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等（掲載誌）
119(385):2020.1.23・24
掲載巻
119
掲載号
385