新規なエアロゾル化ガスデポジションによるアルミナ絶縁膜の作製 (特集 外場印加による粉体プロセスの新展開)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 渕田 英嗣谷本 久典目 義雄
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Fabrication Alumina Film with High Breakdown Field Strength by New Aerosol Gas Deposition Technology
- タイトル（掲載誌）
- 粉体および粉末冶金 = Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy : 粉体粉末冶金協会誌 / 粉体粉末冶金協会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 67(4):2020.4
- 掲載巻
- 67
- 掲載号
- 4