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雑誌電気学会研究会資料 MSS
巻号2020(20-45):2020.7.6・7
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単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討 (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

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単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討

(マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

国立国会図書館請求記号
Z74-C94
国立国会図書館書誌ID
030594334
資料種別
記事
著者
市川 崇志ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2020-07
資料形態
紙
掲載誌名
電気学会研究会資料. MSS 2020(20-45):2020.7.6・7
掲載ページ
p.7-10
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紙

資料種別
記事
タイトル
単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討
著者・編者
市川 崇志
古賀 達也
石原 昇
町田 克之
益 一哉
伊藤 浩之
飯田 慎一
シリーズタイトル
マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
著者標目
市川 崇志
古賀 達也
石原 昇
町田 克之
益 一哉
伊藤 浩之
飯田 慎一
並列タイトル等
A Study on Segmented-Capacitive-Detection Double Electrodes for single an Au Proof Mass 3-axis MEMS Accelerometer
タイトル（掲載誌）
電気学会研究会資料. MSS
巻号年月日等（掲載誌）
2020(20-45):2020.7.6・7
掲載巻
2020
掲載号
20-45