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雑誌電気学会研究会資料 MSS
Volume number2020(20-45):2020.7.6・7
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単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討 (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

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単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討

(マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

Call No. (NDL)
Z74-C94
Bibliographic ID of National Diet Library
030594334
Material type
記事
Author
市川 崇志ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2020-07
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. MSS 2020(20-45):2020.7.6・7
Publication Page
p.7-10
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Paper

Material Type
記事
Title
単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討
Author/Editor
市川 崇志
古賀 達也
石原 昇
町田 克之
益 一哉
伊藤 浩之
飯田 慎一
Series Title
マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
Author Heading
市川 崇志
古賀 達也
石原 昇
町田 克之
益 一哉
伊藤 浩之
飯田 慎一
Alternative Title
A Study on Segmented-Capacitive-Detection Double Electrodes for single an Au Proof Mass 3-axis MEMS Accelerometer
Periodical title
電気学会研究会資料. MSS
No. or year of volume/issue
2020(20-45):2020.7.6・7
Volume
2020
Issue
20-45