Si単結晶のマイクロトライボロジーに及ぼす雰囲気と温度の影響
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高木 誠長江 昂亮木内 亮介岩田 博之坂 公恭
- 並列タイトル等
- Effects of Atmosphere and Temperature on Microtribology between Silicon Single Crystals
- タイトル（掲載誌）
- 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 84(9):2020.9
- 掲載巻
- 84
- 掲載号
- 9
- 掲載ページ
- 304-309