バッファ層導入によるサファイア基板上α-Ga₂O₃薄膜の高品質化 (特集 半導体エレクトロニクス)
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 金子 健太郎伊藤 義人藤田 静雄
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Synthesis of High-Quality α-Ga₂O₃ thin films on Sapphire Substrates with Introduction of Buffer Layers
- タイトル（掲載誌）
- 材料 / 日本材料学会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 69(10):2020.10
- 掲載巻
- 69
- 掲載号
- 10