次世代パワー半導体SiCウェハ技術の開発動向と課題 (特集 パワーエレクトロニクスの最新技術)

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次世代パワー半導体SiCウェハ技術の開発動向と課題

(特集 パワーエレクトロニクスの最新技術)

国立国会図書館請求記号
Z17-206
国立国会図書館書誌ID
031371487
資料種別
記事
著者
加藤 智久
出版者
東京 : 日本セラミックス協会
出版年
2019-11
資料形態
掲載誌名
Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 54(11):2019.11
掲載ページ
p.718-721
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
加藤 智久
著者標目
並列タイトル等
Development Trends and Issues of Next-generation Power semiconductor SiC Wafer Technology
タイトル(掲載誌)
Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
54(11):2019.11
掲載巻
54
掲載号
11