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金属有機化合物分解法...

金属有機化合物分解法による酸化物半導体薄膜の成長

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金属有機化合物分解法による酸化物半導体薄膜の成長

国立国会図書館請求記号
Z14-700
国立国会図書館書誌ID
031407774
資料種別
記事
著者
西本 尚己
出版者
松江 (島根県) : 島根県産業技術センター
出版年
2021-03
資料形態
デジタル
掲載誌名
島根県産業技術センター研究報告 = Report of the Shimane Institute for Industrial Technology (57):2021.3
掲載ページ
p.10-14
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
西本 尚己
著者標目
並列タイトル等
Growth of oxide semiconductor thin films by metal-organic decomposition
タイトル(掲載誌)
島根県産業技術センター研究報告 = Report of the Shimane Institute for Industrial Technology
巻号年月日等(掲載誌)
(57):2021.3
掲載号
57
掲載ページ
10-14
掲載年月日(W3CDTF)
2021-03