集積回路配線における自己形成バリヤ層
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小池 淳一
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Self-forming barriers in large-scale integrated circuits
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 90(10)=1031:2021.10
- 掲載巻
- 90
- 掲載号
- 10
- 掲載通号
- 1031