金薄膜を用いた常温接合によるセンサ・MEMS作製

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
デジタル
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 記事
タイトル: 金薄膜を用いた常温接合によるセンサ・MEMS作製
著者・編者: 日暮栄治
松前貴司
倉島優一
高木秀樹
著者標目: 日暮栄治
松前貴司
倉島優一
高木秀樹
並列タイトル等: Fabrication of sensors and MEMS by room-temperature bonding using gold thin films
タイトル（掲載誌）: 応用物理
巻号年月日等（掲載誌）: 90(10)=1031:2021.10
掲載巻: 90
掲載号: 10
掲載通号: 1031
掲載ページ: 623-627
掲載年月日（W3CDTF）: 2021-10
ISSN（掲載誌）: 0369-8009
ISSN-L（掲載誌）: 0369-8009
出版事項（掲載誌）: 東京 : 応用物理学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM17
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-243
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 031761206
http://id.ndl.go.jp/bib/031761206
整理区分コード: 632