反応性イオンエッチングと集束イオンビーム加工を併用したマイクロ流体デバイスの作製(特集微細構造の作製技術とその応用)

掲載誌名: トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会編 66(10):2021

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資料種別: 記事
タイトル: 反応性イオンエッチングと集束イオンビーム加工を併用したマイクロ流体デバイスの作製
著者・編者: 東直輝
シリーズタイトル: 特集微細構造の作製技術とその応用
著者標目: 東直輝
並列タイトル等: Fabrication of Microfluidic Device by Reactive Ion Etching and Focused Ion Beam Milling
タイトル（掲載誌）: トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会編
巻号年月日等（掲載誌）: 66(10):2021
掲載巻: 66
掲載号: 10
掲載ページ: 762-767
掲載年月日（W3CDTF）: 2021
ISSN（掲載誌）: 0915-1168
ISSN-L（掲載誌）: 0915-1168
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: microfluidic device
microfabrication technique
photolithography
reactive ion etching
focused ion beam milling
DNA separation
NDLC: ZN11
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-540
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 031797901
http://id.ndl.go.jp/bib/031797901
整理区分コード: 632