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表面性状の高精度測定...

表面性状の高精度測定と光学シミュレーションへの活用 : 微小表面幾何構造からの光散乱特性の予測

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表面性状の高精度測定と光学シミュレーションへの活用 : 微小表面幾何構造からの光散乱特性の予測

国立国会図書館請求記号
Z74-G181
国立国会図書館書誌ID
031827314
資料種別
記事
著者
豊田 敏裕ほか
出版者
静岡 : 静岡県工業技術研究所企画調整部
出版年
2021-10
資料形態
掲載誌名
静岡県工業技術研究所研究報告 = Reports of the Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture / 静岡県工業技術研究所企画調整部 編 (14):2021.10
掲載ページ
p.13-21
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
豊田 敏裕
志智 亘
栁原 亘
木野 直樹
鬼久保 郁雄
鈴木 敬明
並列タイトル等
High precision measurements of surface textures and their utilization in optical simulations : Estimation of the characteristics of light scattered from a surface geometric microstructure
タイトル(掲載誌)
静岡県工業技術研究所研究報告 = Reports of the Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture / 静岡県工業技術研究所企画調整部 編
巻号年月日等(掲載誌)
(14):2021.10
掲載号
14
掲載ページ
13-21
掲載年月日(W3CDTF)
2021-10