雑誌芝浦機械技報
巻号28巻 2021年12月
記事真空統合型PVD+C...

真空統合型PVD+CVD成膜装置の開発 : コンバイナー方式HUD用Al-SiO-NbO系耐湿多層反射膜への適用 (特集 SDGs)

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真空統合型PVD+CVD成膜装置の開発 : コンバイナー方式HUD用Al-SiO-NbO系耐湿多層反射膜への適用

(特集 SDGs)

国立国会図書館請求記号
Z16-2644
国立国会図書館書誌ID
031982591
資料種別
記事
著者
深田 和宏ほか
出版者
座間 : 芝浦機械 = Shibaura Machine
出版年
2021-12
資料形態
紙
掲載誌名
芝浦機械技報 = Shibaura Machine engineering review 28:2021.12
掲載ページ
p.13-16
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紙

資料種別
記事
タイトル
真空統合型PVD+CVD成膜装置の開発 : コンバイナー方式HUD用Al-SiO-NbO系耐湿多層反射膜への適用
著者・編者
深田 和宏
福山 聡
難波 武志
栗原 義明
末木 凜太郎
シリーズタイトル
特集 SDGs
著者標目
深田 和宏
福山 聡
難波 武志
栗原 義明
末木 凜太郎
タイトル（掲載誌）
芝浦機械技報 = Shibaura Machine engineering review
巻号年月日等（掲載誌）
28:2021.12
掲載巻
28
掲載ページ
13-16
掲載年月日（W3CDTF）
2021-12