FIBによる透過型電子顕微鏡用試験片の作製と観察 (特集 Ra,Rzだけじゃない! 仕上げ面の表と"裏",その評価と応用)

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FIBによる透過型電子顕微鏡用試験片の作製と観察

(特集 Ra,Rzだけじゃない! 仕上げ面の表と"裏",その評価と応用)

国立国会図書館請求記号
Z16-1147
国立国会図書館書誌ID
032382942
資料種別
記事
著者
押川 浩之
出版者
東京 : 砥粒加工学会
出版年
2022-09
資料形態
掲載誌名
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 66(9)=481:2022.9
掲載ページ
p.498-501
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
押川 浩之
著者標目
並列タイトル等
Sample preparation and observation for transmission electron microscope by FIB
タイトル(掲載誌)
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
巻号年月日等(掲載誌)
66(9)=481:2022.9
掲載巻
66
掲載号
9