FIBによる透過型電子顕微鏡用試験片の作製と観察 (特集 Ra,Rzだけじゃない! 仕上げ面の表と"裏",その評価と応用)

FIBによる透過型電子顕微鏡用試験片の作製と観察

(特集 Ra,Rzだけじゃない! 仕上げ面の表と"裏",その評価と応用)

掲載誌名: Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 66(9)=481:2022.9

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資料種別: 記事
タイトル: FIBによる透過型電子顕微鏡用試験片の作製と観察
著者・編者: 押川浩之
シリーズタイトル: 特集 Ra,Rzだけじゃない! 仕上げ面の表と"裏",その評価と応用
著者標目: 押川浩之
並列タイトル等: Sample preparation and observation for transmission electron microscope by FIB
タイトル（掲載誌）: Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
巻号年月日等（掲載誌）: 66(9)=481:2022.9
掲載巻: 66
掲載号: 9
掲載通号: 481
掲載ページ: 498-501
掲載年月日（W3CDTF）: 2022-09
ISSN（掲載誌）: 0914-2703
ISSN-L（掲載誌）: 0914-2703
出版事項（掲載誌）: 東京 : 砥粒加工学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: focused ion beam
transmission electron microscope
scanning electron microscope sputter deposition
Ar ion mill
NDLC: ZN11
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-1147
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 032382942
http://id.ndl.go.jp/bib/032382942
整理区分コード: 632