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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 石原 卓也
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Upgrading a sapphire-based capacitance manometer for reduced size and enhanced anti-deposition characteristics
- タイトル（掲載誌）
- azbil technical review = azbilテクニカルレビュー : 山武グループ技術研究報告書
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (64):2023.4
- 掲載号
- 64
- 掲載ページ
- 9-15