azbil technical review = azbilテクニカルレビュー : 山武グループ技術研究報告書

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: azbil technical review : 山武グループ技術研究報告書
• タイトルよみ: azbil technical review : ヤマタケ グループ ギジュツ ケンキュウ ホウコクショ
• 巻次・部編番号: 64号 2023年4月
• 著者標目: 山武 ヤマタケ ( 00944222 )典拠; アズビル株式会社 アズビル カブシキ ガイシャ ( 001136514 )典拠
• 出版事項: 東京 : 山武経営企画部
• 出版事項（最新）: 東京 : アズビル経営企画部
• 出版年月日等: 2023
• 出版年（W3CDTF）: 2023
• 出版表示等に関する注記: 54号以降の出版者: アズビル経営企画部
• 刊行巻次・年月次: 48号 (2006年12月)-
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: azbilテクニカルレビュー azbil テクニカル レビュー; Azvilグループ技術研究報告書 Azvil グループ ギジュツ ケンキュウ ホウコクショ
• その他のタイトル（略タイトル）: azbil tech. rev.
• その他のタイトル（キー・タイトル）: azbil technical review
• ISSN（掲載誌）: 1881-9699
• ISSN-L（掲載誌）: 1881-9699
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 著者別名: Azbil
• NDLC: ZM11
• 一般注記: 刊行頻度の変更あり; 54号以降のタイトル関連情報: Azbilグループ技術研究報告書
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z14-1004
• 改題前: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000040110
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008477967; http://id.ndl.go.jp/bib/000008477967
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版

目次

アズビルMEMSの歴史と今後の展望 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)

小型化,プロセス耐性を高めたサファイアリニューアル真空計の開発 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)

MEMS技術を駆使して過大圧保護機構を集積化した超高耐圧差圧センサの開発 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)

オイルフリー高感度圧力センサの開発と応用検討 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)

ユーザビリティを向上させたマスフローコントローラの開発 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)