azbil technical review = azbilテクニカルレビュー : 山武グループ技術研究報告書

• Material Type: 雑誌
• Title: azbil technical review : 山武グループ技術研究報告書
• Title Transcription: azbil technical review : ヤマタケ グループ ギジュツ ケンキュウ ホウコクショ
• Volume: 64号 2023年4月
• Author Heading: 山武 ヤマタケ ( 00944222 )Authorities; アズビル株式会社 アズビル カブシキ ガイシャ ( 001136514 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 山武経営企画部
• Publication, distribution, etc. (Current/latest publisher): 東京 : アズビル経営企画部
• Publication Date: 2023
• Publication Date (W3CDTF): 2023
• Note (Publication, distribution, etc.): 54号以降の出版者: アズビル経営企画部
• Year and volume of publication: 48号 (2006年12月)-
• Size: 30cm
• Alternative Title: azbilテクニカルレビュー azbil テクニカル レビュー; Azvilグループ技術研究報告書 Azvil グループ ギジュツ ケンキュウ ホウコクショ
• Abbreviated Title: azbil tech. rev.
• Key Title: azbil technical review
• ISSN (Periodical Title): 1881-9699
• ISSN-L (Periodical Title): 1881-9699
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Alias of Author: Azbil
• NDLC: ZM11
• Note (General): 刊行頻度の変更あり; 54号以降のタイトル関連情報: Azbilグループ技術研究報告書
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z14-1004
• Replaces: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000040110
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008477967; http://id.ndl.go.jp/bib/000008477967
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition

Table of Contents

アズビルMEMSの歴史と今後の展望 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)

小型化,プロセス耐性を高めたサファイアリニューアル真空計の開発 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)

MEMS技術を駆使して過大圧保護機構を集積化した超高耐圧差圧センサの開発 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)

オイルフリー高感度圧力センサの開発と応用検討 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)

ユーザビリティを向上させたマスフローコントローラの開発 (特集 高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術 : 高機能・高精度・高信頼性の追求)