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触媒表面を基準面とした光学材料、半導体材料表面の超平滑化エッチング法 (物理化学ナノ製造プロセスの最前線)

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触媒表面を基準面とした光学材料、半導体材料表面の超平滑化エッチング法

(物理化学ナノ製造プロセスの最前線)

国立国会図書館請求記号
Z16-110
国立国会図書館書誌ID
033117821
資料種別
記事
著者
佐野 泰久
出版者
東京 : 日本機械学会 ; 1938-
出版年
2023-10
資料形態
掲載誌名
日本機械学会誌 126(1259):2023.10
掲載ページ
p.14-17
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資料種別
記事
著者・編者
佐野 泰久
著者標目
タイトル(掲載誌)
日本機械学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
126(1259):2023.10
掲載巻
126
掲載号
1259
掲載ページ
14-17