ウエハ接合強度の長期負荷及び測定環境の影響

• 資料種別: 記事
• タイトル: ウエハ接合強度の長期負荷及び測定環境の影響
• 著者・編者: 佐野 麻理恵; 岩田 知也; 布施 淳也; 吉原 佑樹; 根本 俊介; 井上 史大
• 著者標目: 佐野 麻理恵; 岩田 知也; 布施 淳也; 吉原 佑樹; 根本 俊介; 井上 史大
• 並列タイトル等: Impact of Long-term Stress and Measurement Environment on Bonding Strength
• タイトル（掲載誌）: マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 33:2023.9.6-8
• 掲載巻: 33
• 掲載ページ: 389-391
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2023-09
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : エレクトロニクス実装学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-1617
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 033135136; http://id.ndl.go.jp/bib/033135136
• 整理区分コード: 632