圧電MEMS光スキャナのフィードバック制御に向けた静電振角センサの検討

• 資料種別: 記事
• タイトル: 圧電MEMS光スキャナのフィードバック制御に向けた静電振角センサの検討
• 著者・編者: 小田 優太朗; 浅利 友隆; 谷 雅直; 年吉 洋
• 著者標目: 小田 優太朗; 浅利 友隆; 谷 雅直; 年吉 洋
• 並列タイトル等: Electrostatic position sensor for piezoelectric MEMS scanner
• タイトル（掲載誌）: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 40:2023.11.6-9
• 掲載巻: 40
• 掲載ページ: 4p
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2023-11
• 出版事項（掲載誌）: [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: YH247-299
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 033243537; http://id.ndl.go.jp/bib/033243537
• 整理区分コード: 632